所獲之學術榮譽、獎項

俄羅斯國際工程學院院士 (Member, Russian International Academy of Engineering) (2013)
美國材料研究學會會士 (Fellow, Materials Research Society, MRS) (2011)
美國電化學學會 (The Electrochemical Society, ECS) 電子與光子學門獎 (Electronics and Photonics Division Award) (2010)
世界科學院院士 (Member, The World Academy of Sciences, TWAS) (2009)
美國礦冶與材料學會(The Mineral, Metallurgy and Materials Society, TMS) William Hume-Rothery Award (2008)
中央研究院院士 (2006-)
清華大學特聘講座教授 (2006-)
教育部第二與第五屆國家講座 (1998-2001, 2001-2004, 終生榮譽)
傑出人才發展基金會講座 (1998-2003, 2006-2011)
清華大學工程講座 (2003-2006)
美國真空學會(Fellow, American Vacuum Society, AVS) 會士 (2001)
亞洲太平洋先進材料學術院(Member, The Academy of Asia-Pacific Advanced Materials, APAM) 院士 (1998)
國科會傑出特約研究人員(2001)，國科會特約研究人員(1995-2001)
國科會傑出研究獎(1985-95)
教育部年度工科學術獎 (每年一人, 1986)
中山學術獎 (1991)
清華大學第一屆傑出研究獎 (1983)
台灣鍍膜科技協會終身成就獎（2018），台灣真空學會會士（2011），中國材料科學學會會士（2009），有庠基金會奈米科技講座(2006)，東元科技獎-高級材料類(2001)，潘文淵基金會研究傑出獎(1999)，侯金堆基金會材料科學類傑出研究獎(1993)，中國材料科學學會陸志鴻獎章（1993）
新竹中學傑出校友獎（2007），台灣大學物理系傑出系友獎（2009），竹師附小標竿校友（2010）